EXC100L

全陶瓷制直线电机驱动
超精密线切割放电加工机
EXC100L

实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。

EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动，并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现最小驱动单位10纳米，并维持稳定的超精密加工。

产品特征

产品规格

加工样品

产品特征

实现工作台最小驱动10纳米
通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。

标准搭载高性能加工液冷却装置
通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。

主要构造采用陶瓷
由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。

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产品规格

各轴行程 X×Y×Z(mm)	100 × 120 × 100
U×V轴行程(mm)	20 × 20
锥度加工控制角度	±6°(板厚：60mm)
最大工件尺寸宽×长×高(mm)	150 × 150 × 60
最大工件质量(kg)	10（包括夹具等）
机床主体尺寸宽×长×高(mm)	2280 × 1830 × 1990

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加工样品

使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。

电极丝直径φ0.02工件材质G5(超硬)工件板厚6mm模块0.026加工面粗糙度0.70μmRz加工时间1小时15分加工液油

极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工（下孔φ0.065mm）。

电极丝直径φ0.03工件材质SUS材料工件板厚0.8mm沟宽0.060、0.100mm加工面粗糙度0.60μmRz加工时间１孔6分、30分加工液?

极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。

电极丝直径φ0.03工件材质铜工件板厚1.3mm加工面粗糙度0.80μmRz加工时间2小时13分加工液油

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QSJD

良好的技术支持、健全的售后服务

陕西强盛机电设备有限公司

EXC100L